[实用新型]一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置

摘要

本实用新型涉及一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置，与现有技术相比解决了高、低倍物镜切换不便的缺陷。本实用新型的高倍物镜系统安装在工作台上且位于左反射镜A和左反射镜B之间，右双面反射镜设有右反射镜A和右反射镜B，低倍物镜系统安装在工作台上且位于右反射镜A和右反射镜B之间，运动滑台上安装有四面反射棱柱，四面反射棱柱上设有反射面A、反射面B、反射面C和反射面D，反射面A与左反射镜A相平行，反射面B与左反射镜B相平行，反射面C与右反射镜A相平行，反射面D与右反射镜B相平行。本实用新型能够方便地进行高倍物镜与低倍物镜的切换，只进行导光而不进行分光，整个光路能量损失小。

主权项

一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置，包括光源（1）、衬底（7）和工作台（8），光源（1）和衬底（7）分别位于工作台（8）的两侧，工作台（8）上安装有运动滑台（9），其特征在于：所述的工作台（8）上安装有左双面反射镜（2）和右双面反射镜（3），左双面反射镜（2）与右双面反射镜（3）两者基于运动滑台（9）呈镜像对应；左双面反射镜（2）上设有左反射镜A（21）和左反射镜B（22），高倍物镜系统（4）安装在工作台（8）上且位于左反射镜A（21）和左反射镜B（22）之间，右双面反射镜（3）设有右反射镜A（31）和右反射镜B（32），低倍物镜系统（5）安装在工作台（8）上且位于右反射镜A（31）和右反射镜B（32）之间，运动滑台（9）上安装有四面反射棱柱（6），四面反射棱柱（6）上设有反射面A（61）、反射面B（62）、反射面C（63）和反射面D（64），反射面A（61）与左反射镜A（21）相平行，反射面B（62）与左反射镜B（22）相平行，反射面C（63）与右反射镜A（31）相平行，反射面D（64）与右反射镜B（32）相平行；当四面反射棱柱（6）运动至高倍物镜系统（4）一侧时，光源（1）发出的光线依次经反射面C（63）、右反射镜A（31）进入低倍物镜系统（5）后再依次经右反射镜B（32）和反射面D（64）反射至衬底（7）上；当四面反射棱柱（6）运动至低倍物镜系统（5）一侧时，光源（1）发出的光线依次经反射面A（61）、左反射镜A（21）进入高倍物镜系统（4）后再依次经左反射镜B（22）和反射面B（62）反射至衬底（7）上。