[实用新型]一种共聚焦光学扫描仪

摘要

一种共聚焦光学扫描仪，主要应用于生物医学显微成像领域和材料研究和集成电路芯片检测成像，其特征在于在针孔和XY扫描振镜之间放置一个沿光轴移动动态聚焦透镜，通过移动动态聚焦透镜来改变穿过针孔、经XY振镜反射进入远心扫描透镜的光束的发散角，以在不改变物镜位置的情况下，对样品实现快速三维扫描成像，实时获取三维共聚焦图像。

主权项

一种共聚焦光学扫描仪，包括：一个光源，一个准直镜，一个激发滤光镜，一个二色分光镜，一个汇聚透镜，一个针孔，一个动态聚焦透镜，一组XY扫描振镜，一个远心扫描透镜，一个发射滤光镜，一个成像透镜、一个检测器和一个计算机，用以和显微镜一起对样品进行三维共聚焦扫描成像，其特征在于：所述光源发射的光经过所述准直镜和所述激发滤光镜后形成短波长的、准直的照明光；所述二色分光镜透过短波长的光，反射长波长的光；所述汇聚透镜将所述照明光汇聚，并穿过所述针孔；所述针孔位于所述汇聚透镜的焦点，其直径可变，直径始终等于所述显微镜物镜的衍射极限；所述动态聚焦透镜可沿光轴前后移动，使穿过所述针孔的所述照明光变为汇聚、准直或发散中的任意一种形式的激发光；所述激发光经过所述XY扫描振镜、所述远心扫描透镜和所述显微镜，激发位于所述显微镜上的样品；所述发射滤光镜透过所述样品发射的荧光，并截至其它波段的杂散光；所述成像透镜将透过所述发射滤光镜的荧光汇聚于所述检测器；所述检测器将所述样品发射的荧光信号转换为电信号；所述计算机控制所述光源的开关，所述动态聚焦透镜沿光轴移动以选择扫描所述样品的指定层面，所述XY扫描振镜摆动以逐点扫描所述样品，并将所述检测器得到电信号还原为图像。