[实用新型]新型镀膜容器有效
申请号: | 201620113307.7 | 申请日: | 2016-02-04 |
公开(公告)号: | CN205501401U | 公开(公告)日: | 2016-08-24 |
发明(设计)人: | 廖齐华;郭明兴;邓有财;冯岩;许亚红;张家豪 | 申请(专利权)人: | 厦门三安光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361100 福建省厦门市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开一种新型镀膜容器,包括坩埚和衬锅;所述衬锅内盛放蒸镀源并放置在所述坩埚内,其特征在于:所述衬锅的上开口具有向内延伸的突起部。通过调整衬锅的上开口的突起部,在保证镀膜的均匀性和厚度的情况下,使得蒸镀源在镀膜过程中降低其蒸发角度,从而降低其材料耗用。 | ||
搜索关键词: | 新型 镀膜 容器 | ||
【主权项】:
新型镀膜容器,包括坩埚和衬锅;所述衬锅内盛放蒸镀源并放置在所述坩埚内,其特征在于:所述衬锅的上开口具有向内延伸的突起部。
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