[实用新型]一种制冷机为冷源的氖氦稀有气体分离精制系统

摘要

本实用新型公开了一种制冷机为冷源的氖氦稀有气体分离精制系统，包括利用加氧催货原理的除氢干燥模块、利用低温纯化器原理的除氮氧及氦气精制模块和以制冷机为冷源的氖氦分离及氖气精制模块，依次进行除氢干燥、除氮氧、氖氦分离及氖气精制、氦气精制处理。本实用新型的操作压力更低，安全性更高，设置了多个回热及余气回收装置，回收率高且能耗低，适合于工业大规模生产。

主权项

一种制冷机为冷源的氖氦稀有气体分离精制系统，其特征在于，包括有除氢干燥模块、除氮氧及氦气精制模块、氖氦分离及氖气精制模块，所述除氢干燥模块包括有依次连接的增压器PC1、除氢接触炉、水浴换热器、除水器和干燥器，除氢接触炉中通入足量氧气；所述除氮氧及氦气精制模块包括有回热器HE1，回热器HE1与气液分离器GS1连接，气液分离器GS1浸泡于减压液氮或常压液氮中冷却，温度为65～80K，气液分离器GS1底部连接气液分离器GS2的中部，气液分离器GS2顶部依次与回热器HE1、除氢干燥模块连接，气液分离器GS1顶部与串联的低温吸附器A1～A4连接，回热器HE1还与串联的低温纯化器A5～A11连接；所述氖氦分离及氖气精制模块包括有回热器HE2，回热器HE2与液氮冷却器E连接，液氮冷却器E与低温吸附器A12连接，低温吸附器A12与二级回热器HE3连接，二级回热器HE3与由制冷机冷却的分离腔体A13连接，分离腔体A13的底部连接低温精馏塔C，分离腔体A13的上部依次与二级回热器HE3、回热器HE2、除氮氧及氦气精制模块中的串联的低温纯化器A5～A11连接。