[实用新型]一种自动增强光刻机真空系统压力的装置

摘要

本实用新型公开了一种自动增强光刻机真空系统压力的装置，通过在光刻机真空供应管路分接真空压力增强管路，当厂务动力真空供应系统出现异常或需要进行定期维护而停止时，即可通过真空压力增强管路向光刻机真空系统提供额外的真空压力，使光刻机真空供应管路内部的压力值符合设定的需求值，可增强光刻机真空供应管路压力的稳定性，确保光刻机真空系统的压力保持正常，从而实现了光刻机不停机，并节省了停机带来的恢复作业时间。

主权项

一种自动增强光刻机真空系统压力的装置，所述光刻机真空系统包括真空分配箱，其通过光刻机真空供应管路、动力真空供应主管路连接厂务动力真空供应系统，其特征在于，所述装置包括：真空压力增强管路，连接光刻机真空供应管路；真空提供单元，设于真空压力增强管路，用于向光刻机真空系统提供额外的真空压力；真空压力感测单元，设于光刻机真空供应管路，用于实时监控光刻机真空供应管路内部的压力值，并把数据传输给真空压力监控系统；真空压力监控系统，连接真空压力感测单元和真空提供单元，用于将接收的光刻机真空供应管路内部压力值数据与设定的需求值进行对比，并在该压力值数据低于设定的需求值时，指令真空提供单元启动，向光刻机真空系统提供额外的真空压力，在该压力值数据高于或等于设定的需求值时，指令真空提供单元停止，以使光刻机真空供应管路内部的压力值符合设定的需求值。