[实用新型]具有水冷机构的纳米热压印装置有效
申请号: | 201620124676.6 | 申请日: | 2016-02-17 |
公开(公告)号: | CN205485274U | 公开(公告)日: | 2016-08-17 |
发明(设计)人: | 吏国宝;史晓华 | 申请(专利权)人: | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 魏亮芳 |
地址: | 215513 江苏省苏州市常熟市常熟*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有水冷机构的纳米热压印装置,其包括:加热机构,其内设置有加热腔;水冷机构,其设置于加热机构的底部,水冷机构具有腔体,腔体内充有冷却液体,腔体的底部设置有制冷片,且腔体的内部还设置有将冷却液体抽到加热腔处的驱动单元。本实用新型可以在保证冷却效率的同时有效地缩小冷却机构对空间的占用,降低整体设备的体积,并保证外观的美观性。 | ||
搜索关键词: | 具有 水冷 机构 纳米 压印 装置 | ||
【主权项】:
具有水冷机构的纳米热压印装置,其特征在于,包括:加热机构,其内设置有加热腔;水冷机构,其设置于所述加热机构的底部,所述水冷机构具有腔体,所述腔体内充有冷却液体,所述腔体的底部设置有制冷片,且所述腔体的内部还设置有将所述冷却液体抽到所述加热腔处的驱动单元。
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