[实用新型]镀膜机膜厚分布修正结构有效
| 申请号： | 201620124700.6 | 申请日： | 2016-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN205529023U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 朱文斌 | 申请（专利权）人： | 苏州灵菱照明镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 镀膜机膜厚分布修正结构，包括修正板，所述修正板连接横杆，该横杆通过连接块连接立柱，横杆与立柱垂直设置，立柱安装在镀膜箱体的底部，调整位置使得修正板位于镀膜坩埚的上方；所述镀膜箱体的顶部设有挂具板，挂具板通过连杆连接滚轮，滚轮连接行星盘，行星盘上夹固反光镜；该镀膜机膜厚分布修正结构采用修正板置于蒸发源和被镀光学元件之间，以改变工作室中膜厚分布，使工件盘各个位置上的膜厚达到均匀的要求，解决镀膜工作室中膜厚分布不均匀的技术问题，解决三元或多元行星盘上的反光镜片不能有很好的膜层均匀性的问题，具有工艺简单、方便可靠等优点，值得大力推广。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 机膜厚 分布 修正 结构 | ||
【主权项】：
镀膜机膜厚分布修正结构，包括修正板（1），其特征在于，所述修正板（1）连接横杆（2），该横杆（2）通过连接块（3）连接立柱（4），横杆（2）与立柱（4）垂直设置，立柱（4）安装在镀膜箱体（5）的底部，修正板（1）位于镀膜坩埚（6）的上方。
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