[实用新型]一种高灵敏晶体闸流管有效
| 申请号： | 201620126394.X | 申请日： | 2016-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN205595337U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 梁书靖;吴炳刚;张伟;齐凤波 | 申请（专利权）人： | 沈阳飞达电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/74 | 分类号： | H01L29/74 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 侯蔚寰 |
| 地址： | 110032 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高灵敏晶体闸流管，包括芯片、台面槽（1）、基区（2）以及无机复合抗氧化层（5），所述基区（2）形成在无机复合芯片上，在基区（2）上形成有阳极（7）、阴极（4）和门极（6），所述无机复合抗氧化层（5）上形成有引线孔，所述引线孔分别对准所述的阴极（4）和门极（6）并填充有铝电极，台面槽（1）的槽深低于基区（2）的结深，且所述台面槽（1）与基区（2）形成的夹角为60度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏 晶体 流管 | ||
【主权项】：
一种高灵敏晶体闸流管，其特征在于：包括芯片、台面槽（1）、基区（2）以及无机复合抗氧化层（5），所述基区（2）形成在无机复合芯片上，在基区（2）上形成有阳极、中间过渡区（3）、阴极（4）和门极（6），所述无机复合抗氧化层（5）上形成有引线孔，所述引线孔分别对准所述的阴极（4）和门极（6）并填充有铝电极，台面槽（1）的槽深低于基区（2）的结深，且所述台面槽（1）与基区（2）形成的夹角为60度；所述芯片为无机复合芯片，所述无机复合芯片由内而外为硅层、碳化硅层和石墨层，所述无机复合抗氧化层由内而外为碳化硅层和氮化硅层；还包括晶闸管，所述晶闸管组通过压装机构固定在框架上；晶闸管组包括至少12个晶闸管单元和至少12个散热器，所述晶闸管单元和散热器间隔排列，且通过并联方式连接。
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