[实用新型]一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备有效
| 申请号： | 201620128445.2 | 申请日： | 2016-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN205329148U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 黄磊;彭锐;许凯;叶志杰;王欣欣;贾文斌;高昕伟;魏钰;窦义坤 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备，涉及真空蒸镀技术领域，可有效控制蒸发源的蒸发速率且能够解决蒸镀过程中蒸镀坩埚的开口堵塞的问题。该真空蒸发源装置，包括蒸镀坩埚、开口可变式盖板、控制结构。所述蒸镀坩埚用于放置蒸镀的源材料；所述开口可变式盖板设置于所述蒸镀坩埚的开口处，用于调节所述蒸镀坩埚的开口的大小；所述控制结构与所述开口可变式盖板相连，用于控制所述开口可变式盖板的开口大小。其中，所述开口可变式盖板的材料为耐高温材料。用于真空蒸镀设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 蒸发 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种真空蒸发源装置，其特征在于，包括蒸镀坩埚、开口可变式盖板、控制结构；所述蒸镀坩埚用于放置待蒸镀的源材料；所述开口可变式盖板设置于所述蒸镀坩埚的开口处，用于调节所述蒸镀坩埚的开口的大小；所述控制结构与所述开口可变式盖板相连，用于控制所述开口可变式盖板的开口大小；其中，所述开口可变式盖板的材料为耐高温材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司，未经合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620128445.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铜阳极板铣耳装置
- 下一篇：一种架空地线镀层结构
- 同类专利
- 专利分类
