[实用新型]硅片电池吸盘装置有效
| 申请号： | 201620130152.8 | 申请日： | 2016-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN205564726U | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 李伯平;陈位 | 申请（专利权）人： | 南京华伯仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 翁斌 |
| 地址： | 210061 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能生产技术领域，具体涉及一种硅片电池吸盘装置。所述硅片电池吸盘装置，包括非接触吸盘和导流护板，所述非接触吸盘包括吸盘体，所述吸盘体的底端形成有气体导流槽；所述导流护板上设置有顶端大而底端小的锥形通孔，所述锥形通孔的小端直径大于所述吸盘体的底端直径，所述吸盘体的底端伸入所述锥形通孔内，且所述导流护板的底表面低于所述吸盘体的底端面；所述导流护板与所述吸盘体之间形成有与所述气体导流槽相连通的气体导流间隙。本实用新型能够安全、稳定地吸起硅片电池，能够有效降低硅片电池取放过程中的碎片率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 电池 吸盘 装置 | ||
【主权项】：
硅片电池吸盘装置，其特征在于，包括：非接触吸盘(1)，所述非接触吸盘(1)包括吸盘体(11)，所述吸盘体(11)的底端形成有气体导流槽(12)；导流护板(2)，所述导流护板(2)上设置有顶端大而底端小的锥形通孔(21)，所述锥形通孔(21)的小端直径大于所述吸盘体(11)的底端直径，所述吸盘体(11)的底端伸入所述锥形通孔(21)内，且所述导流护板(2)的底表面低于所述吸盘体(11)的底端面；所述导流护板(2)与所述吸盘体(11)之间形成有与所述气体导流槽(12)相连通的气体导流间隙(22)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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