[实用新型]一种离子注入机剂量高精度检测控制器

摘要

本实用新型公开了一种离子注入机剂量高精度检测控制器，该控制器包括微处理器、输入保护电路、精密I/V变换电路、峰值检测电路、滤波电路、积分电路、A/D转换器、通信接口电路、自校准电流源电路、扫描波形发生电路、I/O控制电路和液晶显示电路。利用多通道精密I/V变换电路将输入的离子束流变换成电压，对该电压进行峰值检测、滤波和积分之后送入A/D转换器，A/D转换结果输入微处理器，测量出离子束流电流值，实现对离子注入剂量的精确检测；微处理器控制精密I/V变换电路的输入电流档位自动切换，实现多通道、多档位束流与剂量精确采集功能。控制扫描波形发生电路产生行扫描和场扫描两路扫描信号，控制外部高压放大电路输出高压扫描电压，实现离子的扫描注入控制；控制外部束流输出器的输出量，实现对离子注入剂量的精确控制。本实用新型能够实现离子注入剂量的精确检测和剂量的均匀性控制。

主权项

一种离子注入机剂量高精度检测控制器，其特征在于：包括微处理器、输入保护电路、精密I/V变换电路、峰值检测电路、滤波电路、积分电路、A/D转换器、通信接口电路、自校准电流源电路、扫描波形发生电路、高压电放大电路、I/O控制电路和液晶显示电路，所述微处理器的输入端分别连接至A/D转换器和通信接口电路，微处理器的输出端连接至扫描波形发生电路、I/O控制电路和液晶显示电路，所述A/D转换器的输入端与峰值检测电路、滤波电路和积分电路的输出端相连接，所述峰值检测电路、滤波电路和积分电路的输入端连接精密I/V变换电路的输出端，所述精密I/V变换电路的输入端连接输入保护电路，所述I/O控制电路的输出端分别与输入保护电路、精密I/V变换电路、峰值检测电路、滤波电路、积分电路和高压电放大电路的控制端相连接，所述扫描波形发生电路的输出端与高压电放大电路输入端相连接；利用多通道精密I/V变换电路将输入的电子束流变换成电压，对该电压进行峰值检测、滤波和积分之后送入A/D转换器，A/D转换结果输入微处理器，测量出离子束流电流值；峰值检测电路完成离子注入剂量均匀度检测；积分电路完成离子注入的累计剂量检测；滤波电路完成离子实时注入剂量的精确检测；微处理器通过这三种检测结果，控制外部束流输出器的输出量，实现对离子注入剂量的精确控制。