[实用新型]一种平板抽屉式光罩储存柜有效
申请号: | 201620146367.9 | 申请日: | 2016-02-26 |
公开(公告)号: | CN205542728U | 公开(公告)日: | 2016-08-31 |
发明(设计)人: | 金卫;许青峰;朱骏;吕煜坤 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种平板抽屉式光罩储存柜,包括:储存柜本体,围闭形成由各储存单元构成的储存空间;抽屉栏位,活动设置在各储存单元内,并在所述抽屉栏位之面向用户的一侧设置信息录入栏位。本实用新型平板抽屉式光罩储存柜通过设置独立的储存单元,并在储存单元内活动设置具有隔断板的抽屉栏位,且在所述抽屉栏位之外侧的信息录入栏位内记载光罩储存信息,不仅利于光罩之储存,保证储存质量,提高工作效率,而且储存容量大,管理规范,值得推广使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 平板 抽屉 式光罩 储存 | ||
【主权项】:
一种平板抽屉式光罩储存柜,其特征在于,所述平板抽屉式光罩储存柜,包括:储存柜本体,围闭形成由各储存单元构成的储存空间;抽屉栏位,活动设置在各储存单元内,并在所述抽屉栏位之面向用户的一侧设置信息录入栏位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造