[实用新型]一种平板抽屉式光罩储存柜有效

专利信息
申请号: 201620146367.9 申请日: 2016-02-26
公开(公告)号: CN205542728U 公开(公告)日: 2016-08-31
发明(设计)人: 金卫;许青峰;朱骏;吕煜坤 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 智云
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种平板抽屉式光罩储存柜,包括:储存柜本体,围闭形成由各储存单元构成的储存空间;抽屉栏位,活动设置在各储存单元内,并在所述抽屉栏位之面向用户的一侧设置信息录入栏位。本实用新型平板抽屉式光罩储存柜通过设置独立的储存单元,并在储存单元内活动设置具有隔断板的抽屉栏位,且在所述抽屉栏位之外侧的信息录入栏位内记载光罩储存信息,不仅利于光罩之储存,保证储存质量,提高工作效率,而且储存容量大,管理规范,值得推广使用。
搜索关键词: 一种 平板 抽屉 式光罩 储存
【主权项】:
一种平板抽屉式光罩储存柜,其特征在于,所述平板抽屉式光罩储存柜,包括:储存柜本体,围闭形成由各储存单元构成的储存空间;抽屉栏位,活动设置在各储存单元内,并在所述抽屉栏位之面向用户的一侧设置信息录入栏位。
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