[实用新型]声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔有效
| 申请号： | 201620146902.0 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN205790914U | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李慧;赵江山;张立佳;范元媛;沙鹏飞;宋兴亮;王倩;蔡茜玮;鲍洋;崔惠绒;周翊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 乔东峰 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔。声波和激波控制结构贴附在放电腔内壁上，在放电腔内声波和激波重点传播区域设置该控制结构，必要时放电腔全腔内壁均覆盖。声波和激波控制结构由若干组微结构组成，该声波和激波控制结构由微结构拼凑在面内扩展而成，所述微结构是指呈一定规律分布的交错相间的凹陷结构或凸起结构，微结构可由周期性排列的单元结构组成。本实用新型能够大幅降低声波和激波的强度，降低对放电区后续高压放电和激光输出稳定性的不利影响。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 激波 控制 结构 准分子激光 放电 | ||
【主权项】：
一种准分子激光器放电腔内声波和激波控制结构，应用于准分子激光器放电腔中，其特征在于，该声波和激波控制结构由多个微结构组成，所述微结构是指成一定规律分布的交错相间的凹陷结构或凸起结构。
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