[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201620149087.3 | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN205368488U | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 严达祥;颜振裕;李明亮;周文博 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 臧云霄;李峰 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示一种蒸镀装置，其中，所述蒸镀装置包括：蒸镀腔室；蒸镀源，设置于蒸镀腔室中，且位于待蒸镀基板下方；磁力调节装置，设置于所述待蒸镀基板的上方，用于使掩膜板贴附于所述待蒸镀基板的下表面，所述磁力调节装置包括：多个磁铁单元，每个磁铁单元均可沿竖直方向上下移动；以及控制机构，控制所述磁铁单元的上下移动。所述蒸镀装置可以解决现有技术中由于磁板施加在待蒸镀基板上的磁力无法进行局部调整而出现的阴影效果等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀腔室；蒸镀源，设置于蒸镀腔室中，且位于待蒸镀基板下方；磁力调节装置，设置于所述待蒸镀基板的上方，用于使掩膜板贴附于所述待蒸镀基板的下表面，所述磁力调节装置包括：多个磁铁单元，每个磁铁单元均可沿竖直方向上下移动；以及控制机构，控制所述磁铁单元的上下移动。
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