[实用新型]氮气反应溅射制备CoCr/Ti极紫外多层膜人工晶体单色器有效
| 申请号： | 201620151165.3 | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN205562039U | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 朱京涛;朱圣明;金长利;朱运平 | 申请（专利权）人： | 苏州宏策光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26 |
| 代理公司： | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人： | 赵永强 |
| 地址： | 215400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种合金CoCr和金属Ti作为膜层材料的极紫外多层膜人工晶体单色器，该单色器包括基底，其上面依次层叠有打底层、CoCr/Ti周期多层膜人工晶体及保护层，其中CoCr/Ti周期多层膜人工晶体由CoCr膜和Ti膜周期性构成。CoCr，Ti材料在极紫外波段的光学常数合适，CoCr/Ti多层膜人工晶体单色器有优异的光学性能。本实用新型精确控制CoCr与Ti的膜层厚度比，通过在工作气体中添入氮气减小了多层膜人工晶体的界面粗糙度阻止了膜层之间的相互扩散。利用氮气反应溅射制备的CoCr/Ti多层膜人工晶体单色器适用于在荧光分析、生物活体检测、等离子体诊断等极紫外波段的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 氮气 反应 溅射 制备 cocr ti 紫外 多层 人工 晶体 单色 | ||
【主权项】：
一种CoCr/Ti极紫外多层膜人工晶体单色器，其特征在于：该单色器包括基底(1)，其上面依次层叠有打底层(2)、CoCr/Ti周期多层膜人工晶体(5)及保护层(6)，其中CoCr/Ti周期多层膜人工晶体(5)由CoCr膜(3)和Ti膜(4)周期性构成。
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