[实用新型]LED用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤装置

摘要

一种LED用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤装置，至少包括一个沉淀槽，各个沉淀槽依次相连并通过隔墙隔开，每个沉淀槽中至少通过一个隔断分割成两个隔室，至少在一个沉淀槽中的最高隔室内设置过滤槽，过滤槽的侧壁上分布有过滤孔，过滤槽内设置有抽水泵。使蓝宝石衬底研磨工艺中产生的冷却水进入沉淀槽，逐次进入沉淀槽的各个隔室，在各个隔室中逐级沉淀，再过滤后抽出。该装置简单易行，易清洗和维护，成本低；通过设置多个排水孔、过滤孔和隔断来对冷却水中的杂质颗粒进行阻断，使其最大限度的在流入过滤槽之前即发生沉淀，可有效去除冷却水中含有的较大颗粒物，过滤的冷却水循环使用不会损伤外延片。

主权项

一种LED用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤装置，至少包括一个沉淀槽，其特征是，各个沉淀槽依次相连并通过隔墙隔开，每个沉淀槽中至少通过一个隔断分割成两个隔室，每个沉淀槽中隔断的高度都是由一侧向另一侧依次降低，使隔室的高度依次降低，相邻沉淀槽之间在最低隔室的隔墙上设置有排水孔，至少在一个沉淀槽中的最高隔室内设置过滤槽，其它沉淀槽中最高隔室的外侧设置有进水管，过滤槽的侧壁上分布有过滤孔，过滤槽内设置有抽水泵，抽水泵上连接有出水管。