[实用新型]一种不规则零件的圆形密封面抛光治具

摘要

一种不规则零件的圆形密封面抛光治具，属于半导体表面处理加工技术领域。包括与抛光转盘固定连接的转盘底座、横向固定杆、纵向固定杆及纵向固定杆螺母，转盘底座内沿圆周对称开有四个径向轨道，在转盘底座侧壁上对应径向轨道开有安装横向固定杆的螺纹孔，所述转盘底座的底部设有可装夹在抛光转盘上的固定柱，使用时，不规则零件置于转盘底座四个径向轨道之间，纵向固定杆为四个，分别置入径向轨道内，采用螺母固定，通过横向固定杆、纵向固定杆及螺母固定零件，使零件的待抛圆形密封面的圆心与转盘底座圆心重合。本实用新型能有效对不规则零件的圆形密封面进行转盘抛光。拆卸简便易固定，进一步提升了密封面的抛光效率及抛光品质。

主权项

一种不规则零件的圆形密封面抛光治具，其特征在于：包括与抛光转盘固定连接的转盘底座、横向固定杆、纵向固定杆及纵向固定杆螺母，转盘底座内沿圆周对称开有四个径向轨道，在转盘底座侧壁上对应径向轨道开有安装横向固定杆的螺纹孔，所述转盘底座的底部设有可装夹在抛光转盘上的固定柱，使用时，不规则零件置于转盘底座四个径向轨道之间，纵向固定杆为四个，分别置入径向轨道内，采用螺母固定，通过横向固定杆、纵向固定杆及纵向固定杆螺母固定零件，使零件的待抛圆形密封面的圆心与转盘底座圆心重合。