[实用新型]探针卡检测系统

摘要

本实用新型公开了一种探针卡检测系统，包含有一探针卡、一检测板、至少一驱动单元、一控制单元，其中探针卡具有多个探针，检测板具有多个检测部，检测部数量少于该探针卡的探针，驱动单元组接于探针卡或检测板，控制单元包含有检测电路及算法驱动电路，检测电路电性连接探针卡及检测板，算法驱动电路连接于检测电路及驱动单元。借驱动单元驱动探针卡或检测板，令检测部接触检测探针卡的一部份探针，由检测电路产生部份完成的检测信号，再由算法驱动电路存取记忆，并依据算法而定出的控制参数来控制探针卡或检测板的位移行程，令检测部进一步检测尚未完成的探针，而能以较少的检测部且能以最快速度、最短时间有效率地来完成检测较多的探针。

主权项

一种探针卡检测系统，其特征在于，包含有：一探针卡，其具有多个探针；一检测板，其具有多个检测部，该检测部数量少于该探针卡的探针；至少一驱动单元，各驱动单元组接于该探针卡或该检测板的其中之一；一控制单元，其包含有一检测电路、一算法驱动电路，该检测电路电性连接于该探针卡、该检测板，该算法驱动电路电性连接于该检测电路及该驱动单元。