[实用新型]一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置有效
| 申请号： | 201620185955.3 | 申请日： | 2016-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN205726816U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王魁波;张罗莎;吴晓斌;陈进新;罗艳;谢婉露;周翊;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 乔东峰 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置，装置包括密封壳体(5)和封口装置(7)，密封壳体(5)具有一个腔室(51)，腔室(51)用于容纳发热元件并具有一个开口端；腔室(51)的内壁上形成有支承部(52)，该支承部(52)支承发热元件的边缘，用于将发热元件产生的热量传送到密封壳体(5)；封口装置(7)位于密封壳体(5)的开口端，用于封闭所述腔室(51)；发热元件与支承部(52)相接的部分可设置热界面材料(4)；密封壳体(5)的壁面内部或外部可设置冷却装置(6)以冷却密封壳体(5)。本实用新型可用于对发热元件进行密封及散热，可增加对发热元件的导热性能，适于对极紫外光刻的板级电子学系统进行高效散热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 紫外光 刻板 电子学 系统 散热 装置 | ||
【主权项】：
一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置，用于对发热元件进行密封及散热，包括密封壳体(5)、封口装置(7)和冷却装置，其特征在于：所述密封壳体(5)具有一个腔室(51)，该腔室(51)用于容纳发热元件并具有一个开口端；所述腔室(51)的内壁上形成有支承部(52)，该支承部(52)用于支承所述发热元件的边缘；所述封口装置(7)位于所述密封壳体(5)的开口端，用于封闭所述腔室(51)；所述发热元件与所述支承部(52)相接的部分设置有热界面材料(4)，该发热元件的边缘通过该热界面材料(4)与支承部(52)连接；所述冷却装置与所述密封壳体(5)接触，用于冷却所述密封壳体(5)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电研究院，未经中国科学院光电研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620185955.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：直饮水龙头
- 下一篇：泡沫填缝枪的枪体及手柄组件（41）
