[实用新型]一种基于MEMS技术的磁通门探头有效
| 申请号： | 201620187124.X | 申请日： | 2016-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN205427169U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 支萌辉;王纯配;乔东海 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01R33/04 | 分类号： | G01R33/04 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于MEMS技术的磁通门探头，所述磁通门探头包括二氧化硅基体、励磁线圈、感应线圈、磁芯、连接导体、引脚和聚酰亚胺材料；所述磁芯为闭合的矩形磁芯，磁芯的长边一侧对称的绕制不相连的两组三维螺线管励磁线圈，磁芯的长边另一侧设有与励磁线圈平行绕制的三维螺线管感应线圈，所述磁芯设于聚酰亚胺材料内部，所述励磁线圈和感应线圈均通过聚酰亚胺材料与磁芯绝缘隔离；所述励磁线圈和感应线圈均位于二氧化硅基体之上，并且两端均与引脚相连。本实用新型简化了MEMS的制备过程，还解决了励磁线圈和感应线圈的上下层线圈断路的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 磁通门 探头 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS技术的磁通门探头，其特征在于：所述磁通门探头包括二氧化硅基体（1）、励磁线圈（5）、感应线圈（3）、磁芯（2）、连接导体（6）、引脚（4）和聚酰亚胺材料（7）；所述磁芯（2）为闭合的矩形磁芯，磁芯（2）的长边一侧对称的绕制不相连的两组三维螺线管励磁线圈，磁芯（2）的长边另一侧设有与励磁线圈（5）平行绕制的三维螺线管感应线圈，所述磁芯（2）设于聚酰亚胺材料（7）内部，所述励磁线圈（5）和感应线圈（3）均通过聚酰亚胺材料（7）与磁芯（2）绝缘隔离；所述励磁线圈（5）和感应线圈（3）均位于二氧化硅基体(1)之上，并且两端均与引脚（4）相连；所述励磁线圈（5）包括励磁线圈的底层线圈（9）和励磁线圈的顶层线圈（10），所述感应线圈（3）包括感应线圈的底层线圈（8）和感应线圈的顶层线圈（11）；所述励磁线圈的底层线圈（9）和励磁线圈的顶层线圈（10）由连接导体（6）连接，所述感应线圈的底层线圈（8）和感应线圈的顶层线圈（11）由连接导体（6）连接。
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