[实用新型]半导体超净厂房智能控制系统

摘要

本实用新型公开了半导体超净厂房智能控制系统，菌群数量检测传感器设置于半导体超净厂房的地面及侧墙上，感应输出端与智能控制器的输入端连接，向所述智能控制器发送当前的菌群数量值，智能控制器的输出端与净化装置连接，若接收到的菌群数量值大于设定值则驱动所述多组净化装置启动，对半导体超净厂房的空气进行净化。本实用新型的有益效果为：通过智能操控，可通过检测，当菌群数量值大于设定值，对待机状态的多组净化装置进行启动，对半导体超净厂房的空气进行净化。自动化程度高，且检测精确，无需人工参与即可完成日常空气净化，使得半导体超净厂房空气始终达到超净标准，利于提高半导体产品的合格率，提高产品品质。

主权项

半导体超净厂房智能控制系统，其特征在于，包括：菌群数量检测传感器、净化装置及智能控制器；所述菌群数量检测传感器设置于半导体超净厂房的地面及侧墙上，感应输出端与所述智能控制器的输入端连接，向所述智能控制器发送当前的菌群数量值，所述净化装置设置于所述半导体超净厂房中，所述智能控制器的输出端与所述净化装置连接，若接收到的菌群数量值大于设定值则驱动所述净化装置启动，对所述半导体超净厂房的空气进行净化。