[实用新型]一种冷场扫描电镜用多功能样品台有效

专利信息
申请号: 201620194696.0 申请日: 2016-03-14
公开(公告)号: CN205452230U 公开(公告)日: 2016-08-10
发明(设计)人: 程锦;冯根生;杨占兵;宋波;王福明 申请(专利权)人: 北京科技大学
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 代理人: 张仲波
地址: 100083*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提供一种冷场扫描电镜用多功能样品台,属于冷场发射电镜用样品台领域。该样品台包括主体、样品槽、长螺钉、黄铜垫片、固定头,其中其中样品通过长螺钉的旋转固定在样品槽内;样品槽内能铺设黄铜垫片。本实用新型实现了样品台同时承载较多数量的样品,同时对同批次样品的形状,尺寸,形状无统一要求,一次可以放置多个尺寸,形状均不相同的样品,从而提高了实验效率,简化了制样过程。同时亦可用于普通扫描电镜,适用广泛。本样品台既可用于观察非磁性材料,也可以用来观察磁性材料,操作简单方便,安全可靠,有效拓宽了冷场扫描电镜的应用范围。
搜索关键词: 一种 冷场 扫描电镜 多功能 样品
【主权项】:
一种冷场扫描电镜用多功能样品台,其特征在于包括:样品台包括主体(1)、样品槽(2)、长螺钉(3)、黄铜垫片(4)、固定头(5);其中主体(1)上有两个或多个样品槽(2),样品槽(2)槽壁上有螺孔,螺孔内有能旋转进出的长螺钉(3);样品通过长螺钉(3)的旋转固定在样品槽(2)内;固定头(5)与样品台底座以螺纹相接;样品槽(2)内能铺设黄铜垫片(4)。
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