[实用新型]基于会聚光同步移相的组合式偏振分光器检测装置有效
| 申请号： | 201620201210.1 | 申请日： | 2016-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN205448991U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王敏;郭王凯;黄德炜;邵晓萍 | 申请（专利权）人： | 福建师范大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350117 福建省福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于会聚光同步移相的组合式偏振分光器检测装置，组合式偏振分光器正下方设置有激光扩束镜，组合式偏振分光器与激光扩束镜之间设置有标准聚光镜，组合式偏振分光器正上方设置有光学样板，组合式偏振分光器正左方自右向左依次设置有二维正交光栅、检偏器阵列及接收屏；组合式偏振分光器的正右方设置有待测镜片。本实用新型采用偏振干涉和同步移相的方法使两相干光束有近似相等的光强，可调的条纹亮度，能抑制杂散光等光学噪声的影响，大大提高镜片检测的精度，使用聚光束作为检测光束，在相同条件下相比于平行光，可以扩大检测口径，使用方便，在接收屏上可获得四幅依次移相90°的干涉图，有助于在线加工人员修整光圈。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 聚光 同步 组合式 偏振 分光 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种基于会聚光同步移相的组合式偏振分光器检测装置，包括组合式偏振分光器，其特征在于：所述组合式偏振分光器的正下方设置有激光扩束镜，所述组合式偏振分光器与激光扩束镜之间设置有标准聚光镜，所述激光扩束镜的正下方设置有检测光源，所述组合式偏振分光器的正上方设置有光学样板，所述组合式偏振分光器的正左方自右向左依次设置有二维正交光栅、检偏器阵列及接收屏；所述组合式偏振分光器的正右方设置有待测镜片。
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