[实用新型]一种新型真空机构

摘要

本实用新型公开了一种新型真空机构，包括真空腔体、腔体传动装置以及设在真空腔体上的硅片传动平面，腔体传动装置上设有传动载体，其中腔体传动装置和真空腔体之间设有破空气路，所述破空气路上设有大气破空阀门。本实用新型腔体传动装置和真空腔体之间设有破空气路，破空时通入气流，其中真空腔体一分为二，腔室在硅片传动的上方的，腔室上盖在硅片传动的下方，在破空时形成的上下对吹气流，降低产品不良率同时也大大的提交了生产效率。

主权项

一种新型真空机构，包括真空腔体、腔体传动装置以及设在真空腔体上的硅片传动平面，所述腔体传动装置上设有传动载体，其特征在于：所述腔体传动装置和真空腔体之间设有破空气路，所述破空气路上设有大气破空阀门。