[实用新型]一种浅度非球面动态干涉检测装置

摘要

一种浅度非球面动态干涉检测装置，涉及非球面干涉检测。该测量装置由数字相移干涉仪和泰曼‑格林干涉光路组成，数字相移干涉仪提供光源和成像系统。数字相移干涉仪发出的标准平面波经过分光镜分为测试光和参考光两路光。测试光经过零位补偿透镜入射到被测非球面镜，再经非球面镜反射回到分光镜。参考光经过第二个零位补偿透镜入射到液晶空间光调制器，液晶空间光调制器作为计算全息的载体通过编程控制，可实时调制入射光波并将其反射回到分光镜。在分光镜处测试光和参考光干涉形成干涉条纹。数字相移干涉仪接收干涉条纹，通过分析软件解出被测非球面镜的面形误差。该装置结构简单、装调方便，能够实现浅度非球面反射镜的实时动态测量。

主权项

一种浅度非球面动态干涉检测装置，其特征是：它包括数字相移干涉仪（1）、标准平面参考镜（2）、光阑（3）、分光镜（4）、零位补偿透镜（5）、零位补偿透镜（6）、偏振片（7）、液晶空间光调制器（8）、被测非球面镜（9）和计算机（10）；数字相移干涉仪（1）发出的氦氖激光入射至标准平面参考镜（2），经所述标准平面参考镜（2）透射后经过光阑（3），然后入射至分光镜（4），经所述分光镜（4）分成一号透射光和一号反射光；所述一号透射光入射至零位补偿透镜（5），经所述零位补偿透镜（5）透射后入射至被测非球面镜（9），经被测非球面镜（9）反射产生测试光，所述测试光经零位补偿透镜（5）透射后返回至分光镜（4）；所述一号反射光入射至零位补偿透镜（6），经所述零位补偿透镜（6）透射后入射至偏振片（7），经所述偏振片（7）透射后入射至液晶空间光调制器（8），经过液晶空间光调制器（8）的相位调制并反射后获得参考光，所述参考光经过所述偏振片（7）和零位补偿透镜（6）透射后返回至分光镜（4）；所述参考光与测试光干涉形成干涉光，所述干涉光经过光阑（3）和标准平面参考镜（2）透射后，入射到数字相移干涉仪（1）的成像系统。