[实用新型]蒸镀设备的掩膜版有效
申请号: | 201620207683.2 | 申请日: | 2016-03-16 |
公开(公告)号: | CN205420526U | 公开(公告)日: | 2016-08-03 |
发明(设计)人: | 胡长奇;邹清华;郭书鹏;卜斌 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;陈源 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提供的蒸镀设备的掩膜版,包括闭合的边框、多个框条、多个滚轮和转动机构,其中,多个框条间隔排列,以将边框分隔形成多个沉积区域,每个框条的两端中的至少一端与滚轮固定连接;转动机构设置在边框上,用以驱动各个滚轮转动,以使框条缠绕在滚轮上,直至达到所需的张力。本实用新型提供的蒸镀设备的掩膜版,其不仅可以提高框条的使用寿命、减少更换框条的次数,而且在更换框条时,不会损伤边框,且无需打磨边框,从而不仅可以延长边框的使用寿命,降低工艺成本,而且还可以提高工艺效率。 | ||
搜索关键词: | 设备 掩膜版 | ||
【主权项】:
一种蒸镀设备的掩膜版,包括闭合的边框和多个框条,多个框条间隔排列,以将所述边框分隔形成多个沉积区域,其特征在于,还包括多个滚轮和转动机构,其中,每个框条的两端中的至少一端与所述滚轮固定连接;所述转动机构设置在所述边框上,用以驱动各个所述滚轮转动,以使所述框条缠绕在所述滚轮上,直至达到所需的张力。
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