[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201620208282.9 | 申请日： | 2016-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN205420529U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 崔富毅;陈旭;张金中 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 017000 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，为解决因基板发生坍塌而导致蒸镀在基板上的图案的位置精度降低的问题。所述蒸镀装置包括真空蒸镀室，真空蒸镀室内设置有蒸镀源单元、基板载具和冷却板，其中，基板载具位于蒸镀源单元的上方，待蒸镀基板安装在基板载具，冷却板位于待蒸镀基板的上方；冷却板中设置有吸附安置孔；吸附安置孔内设置有对待蒸镀基板进行吸附的吸附件，吸附件可相对待蒸镀基板上下移动。所述蒸镀装置通过吸附件吸附待蒸镀基板，使待蒸镀基板与冷却板接触，并使待蒸镀基板保持平整，减小待蒸镀基板的坍塌程度，改善蒸镀在待蒸镀基板上的图案的位置精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，包括真空蒸镀室，所述真空蒸镀室内设置有蒸镀源单元、基板载具和冷却板，其中，所述基板载具位于所述蒸镀源单元的上方，待蒸镀基板安装在所述基板载具上，所述冷却板位于所述待蒸镀基板的上方；其特征在于，所述冷却板中设置有吸附安置孔，所述吸附安置孔内设置有对所述待蒸镀基板进行吸附的吸附件，所述吸附件可相对所述待蒸镀基板上下移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司，未经鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620208282.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种金属蒸镀装置
- 下一篇：一种提取铑的自动化反应釜
- 同类专利
- 专利分类
