[实用新型]一种自聚焦透镜用镀膜系统

摘要

一种自聚焦透镜用镀膜系统，包括有真空室、氧气供给组件、尾气排出组件以及控制器，真空室具有氧气供给安装口以及尾气排出安装口；氧气供给组件包括有氧气瓶、氧气供给通路、电子阀，电子阀设置于氧气供给通路上，氧气供给通路与氧气供给安装口以及氧气瓶连接；尾气排出组件包括有静电吸附装置、尾气排出通路，尾气排出通路与尾气排出安装口连接，尾气排出通路的另一端设置有静电吸附装置，静电吸附装置设置于尾气排出通路尾端的管路内部；还包括有加热器，加热器设置于氧气供给通路上。设置加热器，能够对充入到真空室内的氧气进行预热，避免低温氧气进入真空室造成真空室的温度骤降，对氧气预热能够提高透镜镀膜的品质。

主权项

一种自聚焦透镜用镀膜系统，包括有真空室(1)、氧气供给组件、尾气排出组件以及控制器(2)，其特征在于，所述真空室具有氧气供给安装口以及尾气排出安装口；所述氧气供给组件包括有氧气瓶(3)、氧气供给通路、电子阀，所述电子阀设置于所述氧气供给通路上用于导通或者闭合所述氧气供给通路，所述氧气供给通路的一端与所述氧气供给安装口连接，所述氧气供给通路的另一端与所述氧气瓶连接，所述电子阀与所述控制器信号连接；所述尾气排出组件包括有静电吸附装置(4)、尾气排出通路，所述尾气排出通路的一端与所述尾气排出安装口连接，所述尾气排出通路的另一端设置有所述静电吸附装置，所述静电吸附装置设置于所述尾气排出通路尾端的管路内部；还包括有加热器(5)以及热传感器，所述加热器以及所述热传感器均设置于所述氧气供给通路上，所述加热器以及所述热传感器均与所述控制器信号连接。