[实用新型]玻璃基板取样装置有效
| 申请号： | 201620212902.6 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN205538294U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 谈子琳;李兆廷;石志强;李震;李俊生;许伟;王建平 | 申请（专利权）人： | 芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/04 | 分类号： | G01N1/04 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 桑传标;陈庆超 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种玻璃基板取样装置，包括吸盘(1)和设置在该吸盘(1)上的阀门(2)，所述吸盘(1)通过所述阀门(2)连通气源以形成用于吸附玻璃基板缺陷检测面的真空负压。以使得玻璃基板缺陷标记区保持在吸盘(1)内，防止玻璃基板缺陷检测面被污染，提升显微镜检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 取样 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板取样装置，其特征在于，包括吸盘(1)和设置在该吸盘(1)上的阀门(2)，所述吸盘(1)通过所述阀门(2)连通气源以形成用于吸附玻璃基板缺陷检测面的真空负压。
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