[实用新型]光取向用偏振光照射装置有效

专利信息
申请号: 201620216526.8 申请日: 2016-03-21
公开(公告)号: CN205507314U 公开(公告)日: 2016-08-24
发明(设计)人: 田中贵章;田内亮彦;中川幸信;前田祥平;加藤刚雄;藤冈纯;日野弘喜 申请(专利权)人: 东芝照明技术株式会社
主分类号: G02F1/1337 分类号: G02F1/1337;G03F7/20
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨贝贝;臧建明
地址: 日本神奈川县横*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 实用新型提供一种光取向用偏振光照射装置。本实用新型的光取向用偏振光照射装置包括:照射单元,设置有对被照射物照射偏振光的照射面;载台,搭载被照射物;搬送机构,搬送载台,以使载台上的被照射物以平行于照射面的方式通过从照射面照射偏振光的照射区域;位置检测部件,在由搬送机构所搬送的载台的移动中,对至所述载台或所述被照射物的距离进行测定,而对载台或被照射物的位置进行检测;以及控制部件,基于位置检测部件所检测出的检测结果,来进行规定的控制。藉此,可适当管理偏振光相对于被照射物的照射状态,从而抑制了被照射物的制造品质下降。
搜索关键词: 取向 偏振光 照射 装置
【主权项】:
一种光取向用偏振光照射装置,其特征在于,包括:照射单元,设置有对被照射物照射偏振光的照射面;载台,搭载所述被照射物;搬送机构,搬送所述载台,以使所述载台上的所述被照射物以平行于所述照射面的方式通过从所述照射面照射的偏振光的照射区域;位置检测部件,在由所述搬送机构所搬送的所述载台的移动中,对至所述载台或所述被照射物的距离进行测定,而对所述载台或所述被照射物的位置进行检测;以及控制部件,基于所述位置检测部件所检测出的检测结果,来进行规定的控制。
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