[实用新型]抛光研磨机的上盘水冷机构有效
申请号: | 201620216781.2 | 申请日: | 2016-03-21 |
公开(公告)号: | CN205415324U | 公开(公告)日: | 2016-08-03 |
发明(设计)人: | 郑勇;魏永利;周萍;高敬帅 | 申请(专利权)人: | 浙江森永光电设备有限公司 |
主分类号: | B24B55/02 | 分类号: | B24B55/02 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 吴建锋 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种抛光研磨机的上盘水冷机构,属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本抛光研磨机的上盘水冷机构包括吊板、水冷压板、定盘支柱和进水组件,上述水冷压板用于与上盘密封连接,上述的吊板与水冷压板平行设置,上述定盘支柱的两端分别固连在吊板和水冷压板上,所述的进水组件上具有连接部一和连接部二,所述连接部一和连接部二轴向固连且能周向转动,所述连接部一与连接部二之间具有能将水导入水冷压板与上盘之间的间隙处。本机构稳定性高。 | ||
搜索关键词: | 抛光 研磨机 上盘 水冷 机构 | ||
【主权项】:
一种抛光研磨机的上盘水冷机构,其特征在于,包括吊板、水冷压板、定盘支柱和进水组件,上述水冷压板用于与上盘密封连接,上述的吊板与水冷压板平行设置,上述定盘支柱的两端分别固连在吊板和水冷压板上,所述的进水组件上具有连接部一和连接部二,所述连接部一和连接部二轴向固连且能周向转动,所述连接部一与连接部二之间具有能将水导入水冷压板与上盘之间的间隙处。
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