[实用新型]一种石英舟托盘有效
| 申请号： | 201620220064.7 | 申请日： | 2016-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN205609487U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 沈根法;宋伟宏 | 申请（专利权）人： | 湖州奥博石英科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种石英舟托盘，包括：石英舟托盘主体,所述托盘主体底面向下延伸至少一对相对设置的凸耳，所述凸耳上设有通孔;滚轮组件，所述滚轮组件包含套设于滚轴上并与之形成转动连接的滚轮，所述滚轴穿过所述通孔架设于所述凸耳上。本实用新型的石英舟托盘采用滚轮结构后，石英舟底部与石英管内管壁之间由滑动摩擦变为滚动摩擦，摩擦力小，使得安装方便、省力；且滚轮结构与石英舟托盘主体可分开加工，降低加工难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 托盘 | ||
【主权项】：
一种石英舟托盘，其特征在于，包括：托盘主体,所述托盘主体底面向下延伸至少一对相对设置的凸耳，所述凸耳上设有通孔;滚轮组件，所述滚轮组件包含套设于滚轴上并与之形成转动连接的滚轮，所述滚轴穿过所述通孔架设于所述凸耳上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
