[实用新型]一种基于强度调制的白光干涉相位显微系统有效
申请号: | 201620222359.8 | 申请日: | 2016-03-22 |
公开(公告)号: | CN205449795U | 公开(公告)日: | 2016-08-10 |
发明(设计)人: | 王翰林;安昕;张浠 | 申请(专利权)人: | 佛山市南海区欧谱曼迪科技有限责任公司 |
主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45;G01J9/02 |
代理公司: | 深圳市盈方知识产权事务所(普通合伙) 44303 | 代理人: | 周才淇;刘杰 |
地址: | 528251 广东省佛山市南海区桂城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基于强度调制的白光干涉相位显微系统,通过改进了光路设计,利用纯振幅空间光调制器代替纯相位空间光调制器,可以控制参考光的光强,当参考光强变化时,干涉光强随之变化,若已知振幅型空间光调制器的调制曲线,就可以求得干涉图中的各个信息分量;本系统产生的光强变化大,可以使用普通相机获得干涉数据;本技术方案中,透射型光路不存在入射角度的问题,解决了入射角限制的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 强度 调制 白光 干涉 相位 显微 系统 | ||
【主权项】:
一种基于强度调制的白光干涉相位显微系统,其特征在于,包括:显微镜装置,用于显微成像;第一透镜组,置于显微镜装置的成像面后面;透射式纯振幅空间光调制器,用于对经过傅里叶变换后的光进行分区域强度调制,放置在第一透镜组的后焦面上;第二透镜组,置于透射式纯振幅空间光调制器后方,与第一透镜组组成4f系统;相机,用于对样品进行成像,置于透镜组的后焦面上。
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