[实用新型]一种多晶硅还原炉有效
申请号: | 201620223816.5 | 申请日: | 2016-03-22 |
公开(公告)号: | CN205575662U | 公开(公告)日: | 2016-09-14 |
发明(设计)人: | 冯铁 | 申请(专利权)人: | 天津德瑞云科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市滨海新区*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅还原炉,包括炉体和底盘,所述炉体设于底盘的上方,且与底盘固定连接,所述炉体的周围设有冷却水夹套,所述冷却水夹套的周围设有保温层,所述炉体的炉壁内表面设有喷砂处理层,所述喷砂处理层的内表面设有打底层,所述打底层的内表面设有喷涂层,所述喷涂层的内表面进行机加工或者抛光处理,所述底盘上设有与炉体连通的若干原料气进气管和一个尾气排出口,所述尾气排出口与排气管连接,所述底盘上设有若干电极,该还原炉内壁面喷涂纯银粉末或者纯银粉末与陶瓷粉末的混合物粉末,使得还原炉内温度更加均匀,降低了炉体向外的热辐射能,降低能耗,同时还具有易于修复和防腐蚀的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 | ||
【主权项】:
一种多晶硅还原炉,其特征在于:包括炉体(1)和底盘(2),所述炉体(1)设于底盘(2)的上方,且与底盘(2)固定连接;所述炉体(1)的周围设有冷却水夹套(3),所述冷却水夹套(3)的周围设有保温层(4),所述炉体(1)的底部一侧设有夹套冷却水进口(31),顶部设有夹套冷却水出口(32),所述夹套冷却水进口(31)和夹套冷却水出口(32)与冷却水夹套(3)连通;所述炉体(1)的炉壁(11)内表面设有喷砂处理层(51),所述喷砂处理层(51)的内表面设有打底层(52),所述打底层(52)的内表面设有银涂层(53),所述银涂层(53)的内表面进行机加工或者抛光处理;所述底盘(2)上设有与炉体(1)连通的若干原料气进气管(21)和一个尾气排出口(22),所述尾气排出口(22)与排气管(23)连接,所述底盘(2)上设有若干电极(6),所述电极(6)连接硅棒(7),所述底盘(2)上还设有底盘冷却水进口和底盘冷却水出口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津德瑞云科技有限公司,未经天津德瑞云科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201620223816.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。