[实用新型]一种用于电沉积平面件的装置有效
| 申请号： | 201620229999.1 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN205474068U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 明平美;赵云龙;李慧娟;陈月涛;张艳华;李欣潮;杨文娟;秦歌 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D21/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于电沉积平面件的装置，包括外槽、放置于外槽内的电沉积槽、阴极基底、阳极、稳流板和搅拌板；所述的电沉积槽由稳流板分隔为阴极槽区和阳极槽区，所述的搅拌板连接于外驱动源上，并设置于阴极基底与稳流板之间，且与阴极基底平行。此装置工作时，搅拌板在外驱动源的作用下作平动运动，通过稳流板和搅拌板的双重作用，使得阴极基底表面电场分布和流场分布更加均匀。此装置极大地改善了平面电沉积件厚度分布的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 沉积 平面 装置 | ||
【主权项】：
一种用于电沉积平面件的装置，包括外槽（6）、放置于外槽（6）内的电沉积槽（4）、阴极基底（2）和阳极（13），其特征在于：它还包括稳流板（7）和搅拌板（3）；所述的稳流板（7）上设有均匀分布的通孔B（10）；所述的电沉积槽（4）由稳流板（7）分隔为阴极槽区（1）和阳极槽区（11）；所述的阴极基底（2）和阳极（13）分别设置于阴极槽区（1）和阳极槽区（11）内，且所述的阴极基底（2）与所述的阳极（13）相互平行；所述的搅拌板（3）设置于阴极基底（2）与稳流板（7）之间，且与阴极基底（2）平行；所述的搅拌板（3）上设有均匀分布的通孔A（8）；所述的搅拌板（3）连接于外驱动源上，在竖直平面内作平动运动；所述的电沉积槽（4）的侧板（15）和底板（17）上均设有横截面形状相同的凹槽（14）；所述的凹槽的底面（16）设有排液孔（5）；所述的阳极槽区（11）设有进液孔（9）；所述的外槽（6）上设有出液孔（12）。
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