[实用新型]一体式七段供气装置有效
申请号: | 201620230359.2 | 申请日: | 2016-03-23 |
公开(公告)号: | CN205635371U | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 杨宏斌;冷庆吉 | 申请(专利权)人: | 河北物华天宝镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 叶树明 |
地址: | 065000 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一体式七段供气装置,特别涉及一种玻璃镀膜产业中镀膜工艺所需要的分段部气装置,包括通过螺栓依次连接设置的连接板、导流板、密封板;气体通过连接板上的进气口向导流板输送气体,导流板通过七段段试的铣槽向溅射环境输送气体。本实用新型用于解决生产过程中镀膜玻璃均匀性的调节,提高生产效率,提高产品质量。 | ||
搜索关键词: | 体式 供气 装置 | ||
【主权项】:
一体式七段供气装置,其特征在于,包括通过螺栓依次连接设置的连接板、导流板、密封板;气体通过所述连接板上的进气口向所述导流板输送气体,所述导流板通过七段段试的铣槽向溅射环境输送气体;所述连接板连接七段供气与阴极盖板。
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