[实用新型]基于同步共振的高灵敏度压电压阻电容叠加力敏传感器有效
| 申请号： | 201620230947.6 | 申请日： | 2016-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN205449341U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王东方;杜旭;王昕;杨旭;刘欣;刘欢;郑果文;毛梦元 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 魏征骥 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于同步共振的高灵敏度压电压阻电容叠加力敏传感器，属于可实现压电、压阻、电容叠加的同步共振悬臂梁力敏传感器。C型支撑结构下部与压电激振结构固定连接，该C型支撑结构的中部与U型梁、T型梁、同步耦合梁相连，T型梁的两侧与同步耦合梁相连，U型梁的内侧亦与同步耦合梁相连，T型梁上表面沉积多片压电拾振结构，固定端表面设置有压阻拾振结构，两电容拾振结构组成差动式电容拾振结构。优点是结构新颖，通过较简单的结构设计，将压电、压阻、电容拾振结构集成于同一结构中，三者输出信号叠加，可进一步放大了输出电压，提高传感器的检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 同步 共振 灵敏度 压电 电容 叠加 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于同步共振的高灵敏度压电压阻电容叠加力敏传感器，其特征在于：C型支撑结构下部与压电激振结构固定连接，该C型支撑结构的中部与U型梁、T型梁、同步耦合梁相连，T型梁的两侧与同步耦合梁相连，U型梁的内侧亦与同步耦合梁相连，T型梁上表面沉积多片压电拾振结构，固定端表面设置有压阻拾振结构，T型梁自由端上表面沉积电极，与上支撑部分表面电极共同组成上电容拾振结构，T型梁自由端下表面沉积电极，与下支撑部分表面电极共同组成下电容拾振结构，两电容拾振结构组成差动式电容拾振结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林大学，未经吉林大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620230947.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便携式电动转辙机测试箱
- 下一篇：一种自冷式锅炉高温热流计
