[实用新型]一种四自由度微动精密定位系统有效
申请号: | 201620239640.2 | 申请日: | 2016-03-25 |
公开(公告)号: | CN205614644U | 公开(公告)日: | 2016-10-05 |
发明(设计)人: | 葛世滨;薛超;段学超;米建伟;杜敬利;保宏;韩旺 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | B25J9/00 | 分类号: | B25J9/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 710071 陕西省*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种四自由度微动精密定位系统,其动平台具有四个自由度,可应用在微机电系统、超精密加工与制造、航空航天等具体领域。其具体结构包括具有绕x轴转动和绕y轴转动两自由度柔顺模块和能够实现绕x轴转动和绕y轴转动两平动自由度的柔顺平台;两转自由度柔顺模块由柔顺滑移铰、柔顺虎克铰及驱动元件等组成,搭载在机构的中间平台上;平台通过并联的柔顺滑移铰提供DxDy两个自由度的平动。本实用新型实现了平动与转动的完全解耦,可分别进行单独驱动;两转动自由度柔顺模块的周边四个支腿中用了一种柔性滑移铰,可以实现较大轴向变化,其中相邻的两个作为主动支腿,装有驱动元件来实现转动。 | ||
搜索关键词: | 一种 自由度 微动 精密 定位 系统 | ||
【主权项】:
一种四自由度微动精密定位系统,其特征在于,所述四自由度微动精密定位系统包括柔顺平台和具有绕x轴转动和绕y轴转动两自由度柔顺模块;所述柔顺平台在四自由度微动精密定位系统的底部,具有绕x轴转动和绕y轴转动两自由度柔顺模块搭载在柔顺平台的中间平台上,具有绕x轴转动和绕y轴转动两自由度柔顺模块为串联连接;所述具有绕x轴转动和绕y轴转动两自由度柔顺模块由柔顺滑移铰、柔顺虎克铰及驱动元件组成。
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