[实用新型]一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统

摘要

本实用新型提供一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统，所述加工系统包括：一旋涂式匀胶机；一步进式光刻机，包括：并列间隔排布的控制单元和曝光单元；一显影机；一等离子体干法刻蚀机。所述加工系统得到的CD纹材质为蓝宝石，属于在蓝宝石表面精加工出CD纹，所形成的CD纹不脱落，不易划伤。

主权项

一种在蓝宝石表面制作CD纹的加工系统，其特征在于，所述加工系统包括：一旋涂式匀胶机，形状为一箱体，其包括：设置于上表面的第一指示灯，设置于一侧面的至少一个涂胶腔室，设置于相邻侧面的与所述涂胶腔室对应并连通的第一进/出料腔室，该侧面还设有第一触控显示屏、第一排风压力计、第一流量计，所述第一排风压力计及第一流量计的一端分别伸入涂胶腔室内侧、另一端分别与所述第一触控显示屏电连接，所述第一指示灯与第一触控显示屏电连接；一步进式光刻机，包括：并列间隔排布的控制单元和曝光单元，两单元形状均为箱体，所述控制单元包括：设置于一侧表面上部的掩膜版对位CCD显示屏、设备系统显示屏及蜂鸣器，凸设于该侧表面中部的操控台，该操控台上设有掩膜版对位信号表、载台位置数字显示屏及键盘；所述曝光单元包括：设置于一侧的掩膜版放置腔室，所述掩膜版放置腔室下方设有第二进/出料腔室、上方设有压缩空气计、第一真空计及汞灯电流表，所述曝光单元相对控制单元的另一侧设有冷却水流量计，所述压缩空气计、第一真空计、汞灯电流表及冷却水流量计的一端分别伸入所述掩膜版放置腔室内，所述掩膜版对位CCD摄像头设置于所述掩膜版放置腔室内；一显影机，形状为箱体，其包括：设置于上表面的第二指示灯，设置于一侧面的至少一个显影腔室，设置于相邻侧面的并与所述显影腔室连通的第三进/出料腔室，该侧面还设有第二触控显示屏、第二真空计、第二排风压力计、第二流量计，所述第二真空计、第二排风压力计及第二流量计的一端分别伸入显影腔室内侧、另一端分别与所述第二触控显示屏电连接，所述第二指示灯与第二触控显示屏电连接；一等离子体干法刻蚀机，形状为一箱体，其包括：间隔设置于上表面的第三指示灯、风机过滤单元及排风接口，设置于一侧面的第三触控显示屏、第四进/出料腔室、启动键及电源指示灯，所述第三指示灯、风机过滤单元、启动键及电源指示灯分别与所述第三触控显示屏电连接。