[实用新型]一种顶针装置及基板真空加工设备

摘要

本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种顶针装置及基板真空加工设备，顶针装置包括导电顶针、绝缘腔体、以及顶针底座，绝缘腔体套设于导电顶针外侧，导电顶针、绝缘腔体安装于顶针底座；导电顶针可相对于绝缘腔体沿导电顶针长度方向移动地滑动配合，且导电顶针与顶针底座之间通过第一弹性件连接，第一弹性件使导电顶针在自由状态时顶端伸出绝缘腔体，导电顶针先与基板相接触将带电粒子导出，防止出现工艺不良，导电顶针和绝缘腔体与基板一直处于接触状态，避免发生电弧放电，保护顶针装置以及基板。

主权项

一种顶针装置，其特征在于，包括导电顶针、绝缘腔体、以及顶针底座，所述绝缘腔体套设于所述导电顶针的外侧，所述导电顶针的底端安装于所述顶针底座，且所述绝缘腔体的底端安装于所述顶针底座；所述导电顶针可相对于所述绝缘腔体沿所述导电顶针的长度方向移动地滑动配合，且所述导电顶针的底端与所述顶针底座之间通过第一弹性件连接，所述第一弹性件用于为所述导电顶针提供沿所述导电顶针的长度方向背离所述顶针底座方向的作用力，以使所述导电顶针在自由状态时顶端伸出所述绝缘腔体。