[实用新型]一种e型电子枪蒸发源有效
| 申请号： | 201620243389.7 | 申请日： | 2016-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN205443433U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 乔宪武 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜技术，具体涉及一种e型电子枪蒸发源。所述阴极由阴极基底上表面沉积石墨烯组成。所述阴极石墨烯的开启电压3‑5V。本实用新型有益效果：石墨烯阴极开启电压低，电子输出稳定，发射效率高，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子枪 蒸发 | ||
【主权项】：
一种e型电子枪蒸发源，包括熔池(1)、阴极(2)、屏蔽装置(3)和偏转系统(4)，其特征在于：所述阴极(2)由阴极基底(22)上表面沉积石墨烯(21)组成。
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