[实用新型]一种电子枪蒸发源荧光校准装置有效
| 申请号： | 201620243405.2 | 申请日： | 2016-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN205556766U | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 乔宪武 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜生产中的电子枪蒸发源，具体涉及一种电子枪蒸发源荧光校准装置。所述装置在熔池上开口处安装荧光棒。所述熔池呈碗装结构，荧光棒为棒状结构，所述荧光棒固定在熔池的上边缘位置。所述荧光棒在电子束的轰击下发光。本实用新型有益效果：本实用新型能够对电子束的工作区域进行校准，荧光棒直观的反映了电子束的中心位置，有效地提高了装置的工作效率，避免由于电子束偏离引起的工作失误。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子枪 蒸发 荧光 校准 装置 | ||
【主权项】：
一种电子枪蒸发源荧光校准装置，包括熔池(1)、阴极(2)、屏蔽装置(3)和偏转系统(4)，其特征在于：在熔池(1)上开口处安装荧光棒(5)，熔池(1)呈碗装结构，荧光棒(5)为棒状结构，所述荧光棒(5)固定在熔池(1)的上边缘位置，荧光棒(5)在电子束的轰击下发光。
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