[实用新型]一种可降低芯片损伤率的吸嘴

摘要

本实用新型公开了一种可降低芯片损伤率的吸嘴，芯片包括基板以及设于基板上的突出结构，吸嘴包括头部，头部的中心设有将其贯通的负压通道，头部的顶端具有一平面，平面上设有一可容纳突出结构且尺寸不大于基板的凹槽，负压通道的开口设于该凹槽的底面之上。本实用新型可以有效的避免吸嘴在接触芯片时损伤波导等突出结构，降低芯片的损伤率，结构简单，易于实用。

主权项

一种可降低芯片损伤率的吸嘴，所述芯片包括基板以及设于基板上的突出结构，所述吸嘴包括头部，所述头部的中心设有将其贯通的负压通道，其特征在于：所述头部的顶端具有一平面，所述平面上设有一可容纳所述突出结构且尺寸不大于所述基板的凹槽，所述负压通道的开口设于该凹槽的底面之上。