[实用新型]离心甩干装置以及基板清洗装置有效
| 申请号： | 201620244446.3 | 申请日： | 2016-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN205628733U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 甄常刮 | 申请（专利权）人： | 纳晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/04;B08B5/02;F26B5/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 310052 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种离心甩干装置，此外还涉及一种应用离心甩干装置的基板清洗装置。一种离心甩干装置，包括离心旋转装置、固定座和喷气装置，所述固定座安装在离心旋转装置的输出端；喷气装置包括摆动机构和连接气源的喷气嘴，喷气嘴安装在摆动机构上并随摆动机构的摆动而移动；喷气嘴的气体喷射朝向在工件上的位置随喷气嘴自身的移动而变动，但气体喷射朝向始终处于工件的中心区域内。同时，本实用还公开了一种利用离心甩干装置的基板清洗装置。两者同时在离心甩干时，利用喷气的气体喷射朝向在工件上的位置变动而又在中心区域内，从而辅助工件的中心区域快速离心甩干，提供了甩干效率，降低设备成本和功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 离心 装置 以及 清洗 | ||
【主权项】：
一种离心甩干装置，包括离心旋转装置(9)、用于固定待干燥工件的固定座(3)和喷气装置，所述固定座(3)安装在离心旋转装置(9)的输出端；其特征在于：所述喷气装置包括摆动机构(5)和连接气源的喷气嘴(4)，喷气嘴(4)安装在摆动机构(5)上并随摆动机构的摆动而移动；喷气嘴(4)的气体喷射朝向在工件上的位置随喷气嘴自身的移动而变动，但气体喷射朝向始终处于工件的中心区域(01a)内。
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