[实用新型]晶圆表面检测设备有效
| 申请号： | 201620244498.0 | 申请日： | 2016-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN205484099U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 李玉廷;王光能;舒远;李雷生;闫静;方伟;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族电机科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘雯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆表面检测设备，上述晶圆表面检测设备包括运动平台和检测组件；运动平台包括X轴轨道和Y轴轨道，检测组件与X轴轨道连接，检测组件能够在X轴轨道上滑动，晶圆能够在Y轴轨道上滑动至检测组件的下方；检测组件包括相互固定连接的相机、镜头和光源，晶圆位于检测组件下方时，相机正对晶圆，镜头位于相机和晶圆之间，光源朝向晶圆。通过上述晶圆表面检测设备进行检测，检测结果准确，不会损伤晶圆，安全可靠，而且能够提高检测效率。若待检测的晶圆的数量为多片，检测组件在X轴轨道上移动，晶圆在Y轴轨道上移动，检测组件可以依次对多个晶圆拍照，在保证准确率的前提下，进一步的提高了检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检测 设备 | ||
【主权项】：
一种晶圆表面检测设备，用于对晶圆的表面进行检测，其特征在于，包括运动平台和检测组件；所述运动平台包括X轴轨道和Y轴轨道，所述检测组件与所述X轴轨道连接，所述检测组件能够在所述X轴轨道上滑动，所述晶圆能够在所述Y轴轨道上滑动至所述检测组件的下方；所述检测组件包括相互固定连接的相机、镜头和光源，所述晶圆位于所述检测组件下方时，所述相机正对所述晶圆，所述镜头位于所述相机和所述晶圆之间，所述光源朝向所述晶圆。
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