[实用新型]清洗机构有效
| 申请号： | 201620244573.3 | 申请日： | 2016-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN205914484U | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 黄荣龙;吕峻杰;陈滢如 | 申请（专利权）人： | 盟立自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04;B08B1/04;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种清洗机构，所述清洗机构包括一操作腔室以及至少一模刷。所述操作腔室，用于容置至少一基板以执行湿式制程。所述至少一模刷，设置于所述操作腔室内且用于对所述至少一基板进行清洗程序。所述模刷包括一主轴、复数刷毛以及复数主贯孔。所述主轴以所述主轴的一长轴为中心进行旋转。所述复数刷毛，设置于所述主轴，用于对所述操作腔室内部的所述至少一基板进行物理清洁。所述复数主贯孔，与所述复数刷毛沿着所述长轴的一延伸方向交错配置于所述主轴的外表面上。在刷毛进行清洗程序时可以藉由所述清洁物质避免脏污附着到刷毛上。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 机构 | ||
【主权项】：
一种清洗机构，包括：一操作腔室，用于容置至少一基板以执行湿式制程；以及至少一模刷，设置于所述操作腔室内且用于对所述至少一基板进行清洗程序，所述至少一模刷包括：一主轴，以所述主轴的一长轴为中心进行旋转；复数刷毛，设置于所述主轴，用于对所述操作腔室内部的所述至少一基板进行物理清洁；以及复数主贯孔，与所述复数刷毛沿着所述长轴的一延伸方向交错配置于所述主轴的外表面上。
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