[实用新型]一种蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 201620255164.3 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN205443431U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王选生;金龙;唐富强;黄俊杰 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 017000 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀坩埚，属于OLED制备技术领域。所述蒸镀坩埚包括坩埚、第一导热管和高温流体供应部，所述第一导热管沿着所述坩埚的侧壁设置，所述第一导热管的入口和出口均与所述高温流体供应部连通；所述高温流体供应部用于向所述第一导热管供应高温流体。本实用新型通过第一导热管设置在坩埚的侧壁上，由于管道的抗变形能力较强，保证在使用本实用新型的过程中，第一导热管能够与坩埚的侧壁保持良好接触，以将高温流体的热量传递到坩埚的侧壁上，进而保证热量的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 | ||
【主权项】：
一种蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸镀坩埚包括坩埚、第一导热管和高温流体供应部，所述第一导热管沿着所述坩埚的侧壁设置，所述第一导热管的入口和出口均与所述高温流体供应部连通；所述高温流体供应部用于向所述第一导热管供应高温流体。
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