[实用新型]一种用于镀膜的衬锅有效
申请号: | 201620258964.0 | 申请日: | 2016-03-31 |
公开(公告)号: | CN205501403U | 公开(公告)日: | 2016-08-24 |
发明(设计)人: | 王丽萍;谢创宇;谢振刚;王笃祥;吴超瑜;马志邦 | 申请(专利权)人: | 天津三安光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300384 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于镀膜的衬锅,具有底部和与所述底部连接的侧壁,所述衬锅的侧壁外侧具有突出于所述侧壁的支撑部,当所述衬锅放置于坩埚内进行加热或冷却时,其侧壁通过所述支撑部与所述坩埚接触,接触面积小于所述衬锅的侧壁的表面积。所述衬锅在周围增加支撑部,在保持体尺寸不变的情况下,减小坩埚与冷却装置的接触面积,使得蒸镀金属在电子束轰击下,获得较好的保温效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 镀膜 | ||
【主权项】:
一种用于镀膜的衬锅,具有底部、与所述底部连接的侧壁,其特征在于:所述衬锅的侧壁外侧具有突出于所述侧壁的支撑部,当所述衬锅放置于坩埚内进行加热或冷却时,其侧壁通过所述支撑部与所述坩埚接触,接触面积小于所述衬锅侧壁的表面积。
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