[实用新型]一种直拉单晶炉用嵌套式金属电极

摘要

本实用新型公开的一种直拉单晶炉用嵌套式金属电极，包括从外向内嵌套设置的主电极体、副电极体和通冷却水的电极水套，主电极体和副电极体之间绝缘。本实用新型的一种直拉单晶炉用嵌套式金属电极解决了现有技术存在的设备改造成本高、拉晶功耗高的问题。本实用新型的一种直拉单晶炉用嵌套式金属电极将主电极、底电极集成在一个金属电极上，将原4个电极减少至2个电极，避免了增加金属电极会带走热场中热量的情况，可以节约拉晶功耗8％左右，而且其结构简单，避免因改造单晶炉产生的高额费用，利用单晶炉炉底原电极孔、配套电缆、水管即可安装，兼容性强。

主权项

一种直拉单晶炉用嵌套式金属电极，其特征在于，包括从外向内嵌套设置的主电极体(1‑3)、副电极体(1‑1)和通冷却水的电极水套(1‑17)，所述主电极体(1‑3)和副电极体(1‑1)之间绝缘，所述主电极体(1‑3)为铜制的圆筒状，所述主电极体(1‑3)的中部设置有圆柱状凸台，所述主电极体(1‑3)上位于凸台下方的位置设置有陶瓷垫b(1‑4)，所述陶瓷垫b(1‑4)下方设置有四氟套a(1‑5)，所述四氟套a(1‑5)的下方设置有四氟垫a(1‑7)和不锈钢垫a(1‑8)，所述副电极体(1‑1)为铜制中空的圆柱状，所述副电极体(1‑1)的中下部从上到下依次设置有四氟垫b(1‑12)和不锈钢垫b(1‑13)。