[实用新型]单晶硅棒单线截断机

摘要

本实用新型涉及晶棒切割技术，旨在提供单晶硅棒单线截断机。该单晶硅棒单线截断机包括底架组件、进刀单元、机械手组件、下料台组件，能利用金刚线切割的方式对单晶硅棒进行截断加工。使用本实用新型进行晶棒的截断加工时，可一次实现三根晶棒的切头尾、切样片及等长截断加工，三根晶棒同时加工，节约了加工耗时；另外，本实用新型采用金刚线作为切割线，割痕窄、硅耗少、切面平整，切割完的晶棒中转搬运由机械手自动完成，减少了人工操作。

主权项

单晶硅棒单线截断机，能利用金刚线切割的方式对单晶硅棒进行截断加工，其特征在于，所述单晶硅棒单线截断机包括底架组件、进刀单元、机械手组件、下料台组件；所述底架组件包括晶棒支撑台、夹紧机构、自动支撑机构、晶棒搬运组件；所述晶棒支撑台设置有至少一个工位，每个工位的两侧各设置有一排成形轴承A，用于放置晶棒；所述晶棒搬运组件包括晶棒端面本体、吸盘、吸盘气缸，吸盘与吸盘气缸相连接，吸盘气缸固定在晶棒端面本体上，吸盘气缸能伸出，吸盘用于吸住晶棒截断面，并拖动晶棒到设定的切割长度；所述夹紧机构包括晶棒固定爪、夹紧气缸、夹紧机构支架，晶棒固定爪与夹紧气缸相连接，夹紧气缸固定在夹紧机构支架上，当晶棒搬运组件将晶棒拖动到所需的切割长度后，夹紧气缸能伸出，推动晶棒固定爪向下运动夹紧晶棒；所述自动支撑机构包括锁紧气缸、V形支撑块、浮动接头、自动支撑本体、滚轮，V形支撑块与锁紧气缸通过浮动接头相连接，锁紧气缸固定在自动支撑本体上，V形支撑块上安装有滚轮，当夹紧机构将晶棒夹紧后，锁紧气缸能伸出推动V形支撑块向中间靠近，接触晶棒后锁紧气缸锁紧，实现支撑；所述进刀单元垂直安装在底架组件的上方，进刀单元包括龙门架、导轨A、大背板、导轮、测速导轮、收放线轮、电机A、丝杆A；龙门架上设有两根平行的导轨A，大背板安装在两根导轨A上；所述电机A设置在龙门架上，电机A能通过丝杆A驱动大背板，使大背板能沿导轨A在竖直方向上运动；所述导轮、测速导轮、收放线轮分别安装大背板上，且收放线轮设有两个，金刚线能从一个收放线轮开始，经导轮、测速导轮后，绕至另外一个收放线轮上，能对工位上的晶棒进行同时截断切割；所述机械手组件包括水平移动组件、竖直移动组件、手爪组件，述机械手组件利用水平移动组件和竖直移动组件，能运动到底架组件的工位上，且手爪组件能对晶棒进行抓取，并将切割完的晶棒移动放置到下料台上；所述水平移动组件包括水平移动本体、水平丝杆、水平导轨、水平滑座、水平移动电机，水平移动本体固定在龙门架上方，水平导轨固定在水平移动本体上，水平滑座安装在水平导轨上，水平移动电机能通过水平丝杆驱动水平滑座沿水平导轨进行水平方向上的左右移动；所述竖直移动组件包括竖直安装座、竖直丝杆、竖直导轨、竖直移动电机，竖直导轨固定在水平移动组件的水平滑座上，竖直安装座安装在竖直导轨上，竖直移动电机能通过竖直丝杆驱动竖直安装座沿竖直导轨进行竖直方向上的上下移动；所述手爪组件包括机械手爪安装座、手爪、左旋丝杆、右旋丝杆、手爪导轨、夹紧电机，机械手爪安装座固定在竖直安装座的底端，手爪通过手爪导轨安装在机械手爪安装座上，且手爪成对安装，夹紧电机能通过左旋丝杆和右旋丝杆驱动成对的手爪实现夹紧与松开动作；所述下料台组件包括下料台本体、成形轴承B，下料台本体的两侧各设置有一排成形轴承B，用于放置截断后的晶棒，以及对截断后的晶棒进行转移。